試驗(yàn)溫度

室溫+10℃~200℃（熱板形式加熱）

老化測(cè)試區(qū)

8區(qū)(可擴(kuò)容)

單區(qū)工位

12（典型）

試驗(yàn)方法

VDs =0VaVGS,off = VGS,min,recom and VGS,on =VGS,max

VGS電壓控制檢測(cè)

試驗(yàn)控制范圍:±35V

檢測(cè)誤差:±1%±2LSB:電壓分辨率:0.01V

脈沖控制

1.脈沖頻率(方波):15KHz~500kHz; 精度:2%±2LSB

2.方波占空比5%~95%; 精度:±2%

3.動(dòng)態(tài)DGS試驗(yàn)時(shí),柵極電壓斜率可達(dá)dv/dt>1V/ns(Ciss＜5nF)

4.電壓過(guò)沖<10% (測(cè)試電壓幅度大于25V)

閥值電壓VGSTH

1.VGS電壓測(cè)控范圍:1~10V

2.分辨率為0.01V,精度:1%±0.01V

IGS漏電流檢測(cè)

檢測(cè)范圍:1nA-99.9uA

第一檔1nA -99nA 分辨率1nA 漏電流測(cè)量誤差:1%±2LSB

第二檔100nA -999nA 分辨率10nA 漏電流測(cè)量誤差:1%±2LSB

第三檔1uA~99.9uA 分辨率100nA 漏電流測(cè)量誤差:1%±2LSB

整機(jī)供電

三相AC380V±38V

整機(jī)重量

700KG

整機(jī)尺寸

800mm(w)x1400mm(D)x1950mm(H)